触摸屏用超硬减反多层膜研发 收藏 0

一、课题来源与背景 随着平板显示行业的发展,特别是随着智能手机、平板电脑和车载导航仪的广泛应用,人们对触摸屏玻璃的需求越来越大,其市场前景十分可观。 二、技术原理及性能指标 ①主要生产工艺路线概述如下： 触摸屏用超硬减反多层膜是在高硬度强化玻璃基底上,通过真空磁控溅射技术沉积一组SiNx和SiO2交替形成高硬度、高透过率的光学薄膜,且膜层性能稳定,达到量产的要求。 a. 切割:将大张来料玻璃切割成我们需要的尺寸。 b.化学强化：通过化学方式对玻璃进行强化处理,提高基板本身的耐划伤性能。 c.真空镀膜：通过磁控溅射的方式,在钢化玻璃基底上交替沉积一组高硬度、高透过率的触摸屏用超硬减反多层膜。 ②技术性能指标： 透光率（400~700nm）≥94%; a*:-6~3; b*:-15~0; 表面硬度≥9H; 三、技术的创造性与先进性 1、透过率的提升、提升客户使用体验 通过光学折射原理,实现透过率的提升。即在可见光波段内,尤其是500-700 nm,将玻璃的固有透过率从91%降低至94%。普通的电容式触摸屏一般是通过表面贴附一层高分子材质的减反射膜材,从而提高成品透过率,但是由于膜材材料限制,其表面硬度难以满足要求。而磁控溅射制备的多层减反射薄膜,光学效果出色,表面硬度高,从根本上提升客户使用体验。 2、膜厚的精确管控 多层高折射率/低折射率光学膜层依次按物理膜厚精确沉积在玻璃表面,而高/低折射率膜材的材料和膜厚以及所需的反应气体均不一样。我们主要是通过光学模拟软件对所需达到的光学效果进行模拟,精确把握所需膜层的层数、膜厚。 3、膜层大面积控制均匀性 多层光学减反薄膜的均匀性要求严格,需要确保可视区域靶材均匀沉积,否则会出现严重的色差,但是实际上由于箱体内气氛变化、基片温度差异和夹具放气等不可避免的因素,靶材的沉积速率会有所差异,从而导致玻璃的中心和边缘区域的减反效果不均匀。 对此,我们通过延长气体流量调节等手段来均一化基片温度和减少放气,来调整不同位置的靶材沉积速率,从而确保基片的整个工作界面的均匀沉积。 4、调节氮硅原子比,确保膜层高硬度 触摸屏用超硬减反多层膜中高折射率材料主要以氧化物、氮化物或氮氧化物为主,常见的材料有：NbOx、TiO2、SiON等。对此,我们通过调整反应气体流量比例来调节氮化硅氮硅原子数目比,确保膜层的硬度满足要求。 四、此项目的专利成果 通过本项目实施,目前已受理一项发明专利《用于玻璃检测分拣的设备》（专利号：201610640474.1 ）,取得授权四项实用新型专利《一一种链轮传动压条结构》（专利号：201620847650.4 ）、《一种车载触摸屏结构》（专利号：201621398438.0 ）、《一种镀膜基片架》（专利号：201620848431.8 ）、《一种用于玻璃检测分拣的设备》（专利号：201620848218.7 ）。 五、技术的成熟程度、适用范围以及应用情况 本项目于2015年10月开始项目调研工作;2016年2月—4月,进行触摸屏用超硬减反多层镀膜工艺研发;同时通过化学强化工艺的研发,制备出符合产品要求的强化产品,于2016年8月完成触摸屏用超硬减反多层镀膜和基板强化工艺的研发,2016年10月完成样品的初期制作过程,并送样给客户进行系统性评估,2017年1月份开始批量试生产,2017年4月份产品通过客户测试并开始批量生产。 触摸屏是一种新型的人机对话界面,广泛应用手机、Pad、笔记本电脑、车载导航等产品中。由于表面经常被触摸,要求触摸屏表面玻璃需要超强硬度,防止被划伤。另外很多显示终端要在户外使用,要求触摸屏表面更低的反射率,提高显示清晰度。这样对于触摸屏的硬度和反射率要求也提高,因此研制超高硬度、低反射率（超硬AR膜）的触摸屏玻璃。长信触摸屏用超硬减反多层膜终端客户比如：BYD、福特、小鹏汽车等,且客户使用反映良好。 六、公司荣誉 长信公司是国家级火炬计划重点高新技术企业、安徽省高新技术企业、安徽省产学研联合示范企业、安徽省制造业信息化科技工程试点企业。近三年公司科技成果转化共计二十余项,全部实现了产业化生产;承担多项部、省级科技计划和产业化项目;取得授权发明专利12项、实用新型专利50项;公司研发团队被批准为安徽省第二批“115”产业创新团队、芜湖市首批“5111”产业创新团队。公司研发中心为国家级企业技术中心、省级工程技术研究中心。公司为“安徽省真空薄膜材料与技术工程技术研究中心”的依托单位,拥有国家级博士后科研工作站。